為滿足國外用戶對FE-2100RMD多極磁環(huán)測試能力考察，較細致的進行了測試實驗，并對數(shù)據(jù)進行分析總結，基本上達到理想效果，通過實驗總結，后期對產(chǎn)品的出廠可參考來用作為檢驗標準，在掌握自身產(chǎn)品測試能力的同時，保證產(chǎn)品測試精度和一致性。
多極磁環(huán)極寬測試考核步驟
1、選取磁環(huán)八極樣品，隨機標注四個測試大致位置，用于取放樣品測試考核使用；
2、參考樣品所帶卡簧，用它作為安裝到卡盤上的止位高度；
3、裝入卡盤，以卡簧為參考，確保探頭回位測試點在一個水平面上。
四、調節(jié)探頭到環(huán)中部，設定測試點位置和停機點位置，開始測試（芯片距離磁環(huán)壁0.3mm）。
五、隨機按要求控制高度安裝連續(xù)測試4次，對應各磁極分布對應情況
1、4次疊加考核設備對應固定位置重復性如下圖：
2、峰值*大值**偏差：2Gs，磁場*小值**偏差：0Gs；平均值*大偏差：1Gs；
3、磁極*大極寬**偏差：0.02°，磁極*小極寬**偏差：0.03°；
4、四次各磁極極寬對應表如下（單位°）：
|
次數(shù)
|
1(N)
|
2(S)
|
3(N)
|
4(S)
|
5(N)
|
6(S)
|
7(N)
|
8(S)
|
|
1
|
44.83
|
45.13
|
44.74
|
45.5
|
45.08
|
45.23
|
44.66
|
44.83
|
|
2
|
44.82
|
45.13
|
44.75
|
45.5
|
45.08
|
45.21
|
44.68
|
44.83
|
|
3
|
44.83
|
45.13
|
44.73
|
45.51
|
45.09
|
45.21
|
44.66
|
44.84
|
|
4
|
44.81
|
45.14
|
44.73
|
45.52
|
45.07
|
45.23
|
44.65
|
44.85
|
5、各磁極寬度在極坐標中獲得
六、移開探頭取出樣品，旋轉一個角度安裝，探頭自動回位重新連續(xù)測試5次，對應各磁極分布對應情況
1、五次疊加考核設備對應固定位置重復性
2、峰值*大值**偏差：1Gs，磁場*小值**偏差：2Gs；平均值*大偏差：1Gs；
3、磁極*大極寬**偏差：0.02°，磁極*小極寬**偏差：0.02°；
4、五次各磁極極寬對應表如下（單位°）：
|
次數(shù)
|
1(S)
|
2(N)
|
3(S)
|
4(N)
|
5(S)
|
6(N)
|
7(S)
|
8(N)
|
|
1
|
45.69
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
|
2
|
45.71
|
45.12
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
|
3
|
45.71
|
45.14
|
45.14
|
44.71
|
44.84
|
44.64
|
44.97
|
44.85
|
|
4
|
45.68
|
45.17
|
45.12
|
44.74
|
44.82
|
44.64
|
44.98
|
44.85
|
|
5
|
45.68
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.82
|
44.66
|
44.96
|
44.88
|
七、移開探頭取出樣品，旋轉下一個角度安裝，探頭自動回位重新連續(xù)測試5次，對應各磁極分布對應情況
1、五次疊加考核設備對應固定位置重復性
2、峰值*大值**偏差：1Gs，磁場*小值**偏差：2Gs；平均值*大偏差：2Gs；
3、磁極*大極寬**偏差：0.03°，磁極*小極寬**偏差：0.04°；
4、五次各磁極極寬對應表如下（單位°）：
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次數(shù)
|
1(S)
|
2(N)
|
3(S)
|
4(N)
|
5(S)
|
6(N)
|
7(S)
|
8(N)
|
|
1
|
45.3
|
44.67
|
44.83
|
44.61
|
45.05
|
44.79
|
45.45
|
45.3
|
|
2
|
45.3
|
44.67
|
44.8
|
44.63
|
45.05
|
44.78
|
45.46
|
45.3
|
|
3
|
45.25
|
44.72
|
44.8
|
44.61
|
45.08
|
44.76
|
45.47
|
45.31
|
|
4
|
45.27
|
44.7
|
44.82
|
44.59
|
45.09
|
44.76
|
45.45
|
45.29
|
|
5
|
45.29
|
44.7
|
44.83
|
44.6
|
45.06
|
44.78
|
45.46
|
45.28
|
八、移開探頭取出樣品，旋轉下一個角度安裝，探頭自動回位重新連續(xù)測試5次，對應各磁極分布對應情況
1、五次疊加考核設備對應固定位置重復性
2、峰值*大值**偏差：2Gs，磁場*小值**偏差：2Gs；平均值*大偏差：1Gs；
3、磁極*大極寬**偏差：0.02°，磁極*小極寬**偏差：0.03°；
4、五次各磁極極寬對應表如下（單位°）：
|
次數(shù)
|
1(N)
|
2(S)
|
3(N)
|
4(S)
|
5(N)
|
6(S)
|
7(N)
|
8(S)
|
|
1
|
44.89
|
44.97
|
44.55
|
45.05
|
44.78
|
45.51
|
45.09
|
45.3
|
|
2
|
44.88
|
44.97
|
44.59
|
45.01
|
44.8
|
45.48
|
45.12
|
45.15
|
|
3
|
44.86
|
44.99
|
44.58
|
45
|
44.82
|
45.48
|
45.11
|
45.16
|
|
4
|
44.84
|
45.01
|
44.56
|
45.03
|
44.79
|
45.5
|
45.09
|
45.18
|
|
5
|
44.87
|
44.98
|
44.56
|
45.04
|
44.78
|
45.51
|
45.08
|
45.18
|
九、磁極對應整體數(shù)據(jù)
|
次數(shù)
|
1(N)
|
2(S)
|
3(N)
|
4(S)
|
5(N)
|
6(S)
|
7(N)
|
8(S)
|
|
1
|
44.83
|
45.13
|
44.74
|
45.5
|
45.08
|
45.23
|
44.66
|
44.83
|
|
44.82
|
45.13
|
44.75
|
45.5
|
45.08
|
45.21
|
44.68
|
44.83
|
|
44.83
|
45.13
|
44.73
|
45.51
|
45.09
|
45.21
|
44.66
|
44.84
|
|
44.81
|
45.14
|
44.73
|
45.52
|
45.07
|
45.23
|
44.65
|
44.85
|
|
2
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.69
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.71
|
45.12
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
|
44.64
|
44.97
|
44.85
|
45.71
|
45.14
|
45.14
|
44.71
|
44.84
|
|
44.64
|
44.98
|
44.85
|
45.68
|
45.17
|
45.12
|
44.74
|
44.82
|
|
44.66
|
44.96
|
44.88
|
45.68
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.82
|
|
3
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.69
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.71
|
45.12
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
|
44.64
|
44.97
|
44.85
|
45.71
|
45.14
|
45.14
|
44.71
|
44.84
|
|
44.64
|
44.98
|
44.85
|
45.68
|
45.17
|
45.12
|
44.74
|
44.82
|
|
44.66
|
44.96
|
44.88
|
45.68
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.82
|
|
4
|
44.61
|
45.05
|
44.79
|
45.45
|
45.3
|
45.3
|
44.67
|
44.83
|
|
44.63
|
45.05
|
44.78
|
45.46
|
45.3
|
45.3
|
44.67
|
44.8
|
|
44.61
|
45.08
|
44.76
|
45.47
|
45.31
|
45.25
|
44.72
|
44.8
|
|
44.59
|
45.09
|
44.76
|
45.45
|
45.29
|
45.27
|
44.7
|
44.82
|
|
44.6
|
45.06
|
44.78
|
45.46
|
45.28
|
45.29
|
44.7
|
44.83
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
*大值
|
44.83
|
45.14
|
44.88
|
45.71
|
45.3
|
45.3
|
44.74
|
44.85
|
|
*小值
|
44.59
|
44.97
|
44.73
|
45.45
|
45.07
|
45.12
|
44.66
|
44.8
|
|
偏差
|
0.24
|
0.17
|
0.15
|
0.26
|
0.23
|
0.18
|
0.08
|
0.05
|
多極磁環(huán)極寬測試考核結論：
1、設備測試前進行過同心度檢驗，偏差0.05mm；
2、樣品直徑：38.05mm，圓度偏差：0.02mm（38.04~38.06mm）
3、經(jīng)過取放四次，重新安裝，探頭回位測試，主要考察磁極寬度，峰值可參考原始數(shù)據(jù)。
4、磁極寬度偏差不超過0.3°。
